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高精度貼片機【S-HVM】

MRSI-S-HVM超精密組裝系統
制造商:美國
主要功能: 點膠、貼片、共晶焊、倒裝焊、環氧蘸膠

  •        全自動、高速、高精度、靈活多功能的貼片系統。為激光器、探測器、調制器、AOC、WDM/EML TO-Can、光收發器、LiDAR、VR/AR、傳感器和光學成像等產品的研發、小到中等批量生產, 直至大批量生產提供“一站式”解決方案。為所有級別的封裝提供最有效的系統和組裝解決方案,其中包括晶片芯片(CoW)、載體上芯片(CoC)、PCB、TO和管殼封裝。

  •        MRSI-S-HVM是為集成光子器件量產制造的應用而設計的,可用于半導體晶圓級封裝,可實現多芯片、多工藝在一臺機器上生產。兩種精度自動切換模式: ±0.5 微米 @ 3σ, ±1.5 微米 @  3σ,Z軸拾貼力可控。該系列支持多工藝,包括DAF、共晶、環氧蘸膠和點膠,局部加熱模式可以從頂部或底部加熱,以及MRSI專利的底部激光加熱;可直接對準倒裝芯片和基板上的基準,不需要額外的參考點或校準。MRSI 專利的晶圓平臺,具有自動調平功能。MRSI-S-HVM系列繼承了MRSI-HVM所有的并行工序,包括MRSI 專利的自動吸頭切換和雙龍門/貼片頭結構。材料輸入方法包括wafer, Waffle pack, Gel-Pak®,以及定制的夾具。

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